测量仪器检测三点连环干涉法
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[在线咨询] 时间:2021-05-19
[在线咨询] 时间:2021-05-19测量仪器检测三点连环干涉法
测量仪器校验干涉法是利用光的等厚干涉原理，以平面平晶为标准进行测量的方法。
使平晶与被测面间形成微小楔形空气隙，在光源照明下即可看到等厚干涉条纹。
调整平晶使干涉条纹呈3～5条（如图15-3所示），沿整个被测面以平晶半径为步长，依次连续测量三点就得到各中点对其左右相邻点的连线间的高度差。
再按选定的统一坐标处理所得数据。
如果被测长度小于平晶直径，则可直接从干涉条纹的弯曲度测出直线度误差值。
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