仪器检测平晶的主要项目和方法

仪器校准工作平面平晶分成1级和2级。不同规格和级别其平面度要求见JJG28-2000《平晶检定规程》中的计量性能要求。

仪器校准平晶比较法

直径为30-150mm的1级、2级平面平晶用带标准平晶的平面等厚干涉仪直接检定；直径为30-100mm的1级、2级平面平晶也可用2等标准平晶比较检定；平面度的检定应在任意相互垂直的两个截面上进行。

直径为150mm的1级平面平晶用平面等倾干涉仪与1等标准平晶比较检定；直径为150mm的2级平面平晶用平面等倾干涉仪与2等标准平晶比较检定。

计量检测时，将被检平面平晶置于平面等厚干涉仪工作台上，调整干涉条纹的调整，使被检区域出现3或5条干涉条纹。当采用2等标准平晶比较检定时，将平面平晶与标准平晶相互研合，使被检区域出现3或5条干涉条纹。