标准技术是测试计量技术水平的表现形式

标准技术是测试计量技术水平的表现形式
大力发展基准、计量校准技术 基准标准技术是测试计量技术水平的高表现形式,是发展超精密制造的前提和保障,也是引导促进先进加工和测量技术发展的技术基础。基准标准技术滞后将严重制约精密制造和装备制造业的发展。
尤其是,在过去的10年仪器校准中超精加工技术的提高使得工业界可以制造以前难以想象的微小和形状复杂的工件,表面粗糙度正在达到原子级尺度,并可由像原子力显微镜等这样复杂的显微镜来进行测量。但是相应的标准还没有制定,需要制定新的纳米尺度上表面粗糙度和公差测量标准作为新的纳米测量基础。
与此对应,研究对应芯片、掩模板测量中的线条宽度、间距、台阶高度、表面粗糙度、膜厚等被测量的校对样板,并对这些样板进行标定和比对,对于保证这些几何参数量值的统一和溯源具有十分重要的意义。多传感器测量及测量信息融合技术是现代测量计量技术出现的新特点。
现代复杂机电系统涉及信息多,测量信息量大,传感器数量较多,多源巨量信息分析评估困难,需借助数据融合理论进行处理。多传感器测量应用中的数据融合技术正逐渐成为提升测量系统性能的关键技术之一。
结束语 在未来的测试计量及仪器技术的发展中,针对上述问题和发展趋势,着力加大科研投入,重视基础研究,紧密联系工程应用,相信在不久的将来我国测试计量技术及相关领域定可获得快速的发展,为我国科学技术和国民经济的发展发挥更大的作用。

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