仪器效验激光干涉仪的主要特点及维护有哪些

仪器校验激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。以下说明激光干涉仪的主要特点有哪些：

1. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架

2. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间

3. 激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。

4. 激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。

5. 激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。

6. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角

7. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

8. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米

9. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性

激光干涉仪的注意事项以及维护：

1、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。

2、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。

3、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。

4、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。

5、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。

6、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。

7、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。

电子仪器校准激光干涉仪使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳，导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态， 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动，仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形，光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭，传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。