仪器校准表面粗糙度仪的测量方法

在仪器校准实际工作中,对于明显没必要用更精确的方法检验的制件表面,可用目视法检查。例如,制件表面比所规定的粗糙度明显地好或明显地不好,或者存在明显影响表面功能的表面缺陷。
如果目视检查不能判定,可采用与已知表面粗糙度参数值的比较样块进行比较的方法,靠视觉(目视或借助放大镜观察)和触觉(用手指甲感触)来判别。这种方法只是定性检查,不能得出具体数值,但简单易行,仍为生产现场广泛采用。
对于要求给出表面粗糙度参数值的制件表面,一般采用触针式仪器直接测量的方法。触针式仪器能够按照表面粗糙度评定标准给出的参数定义直接测得具体数值,使用简单、直观,在制造业广泛应用。还可采用光学仪器(如光切显微镜和干涉显微镜)进行测量,这类仪器非接触测量'对于超精细加工表面和某些特殊材料、小尺寸表面的测量,能弥补触 针式仪器的不足。
对于大型工件、盲孔、深槽、内螺纹等特殊部位的表面粗糙度,无法用常规方法测量,也不便用比较样块比对评定,可考虑采用印模法。印模法是一种既古老又仍有应用价值的间接测量方法。利用某些印模材料,把表面轮廓形状复制下来,制作被测表面的印模,然后通过对印模的测量,间接获得被测表面的粗糙度结果。
与光切法、干涉法及针描法截然不同,全息干涉法和激光光斑法在三维表面上评定表面粗糙度,有利于进一步对表面形貌评定的研究。 光纤法便于实现快速实时测量,是一种很有发展前途的方法。表面粗糙度除了表6-22报列的各种计量仪器校验测量方法外,还有气动法、电容法。光反射法、扫描电镜法。光外差干涉法、光触针测量法、计算机视觉检测系统以及各种模式的识别方法等等。

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