仪器校准测量干涉法

测量转动目镜头，使测微目镜十字线中的一条与干涉条纹计量仪器检测的方向平行，另一条即与被测表面的加工纹路方向平行。

将与干涉条纹的方向平行的那条线分别对准干涉条纹波峰带宽的正中。

在测微鼓轮上读取N¨再对准相邻干涉条纹波峰带宽的正中，在测微鼓轮上读数取N2， I Ni-N2 I即为干涉条纹间距6 0实际仪器外校测量中，为了提高测量精度，应移过3-4条干涉带，再读取N2，反复测量多次取平均值，再除以移过的干涉带数，仪器校准作为干涉条纹间距6 0然后对准同一干涉条纹波谷带宽的正中，在外校计量测微鼓轮上读取N30|N1-N3|即为干涉条纹弯曲量a0 ：

由于测微鼓轮的读数方向与实测方向成45 0，故读数值比实际值扩大了抠倍。

但计算Rz值时，用到a/b，分子分母都大了以晤，因此，对测量结果没有影响。

继续对准某一干涉条纹波峰带宽的正中，在测微鼓轮上读取p1、p2、……、p5，

仪器计量校准校验再对式：

P——干涉条纹波峰的测量读数值；

V——干涉条纹波谷的测量读数值；

B——干涉条纹间距；

r——所用光源的波长值。

在连续九个（一般为5个）取样长度上各测得一个Rz值，按式(6-26)计算平均值，作为R参数一个评定长度上的测量结果。

计量检测对于不均匀或不规则的被测表面，应在表面不同部位多处取评定长度进行测量，再取各评定长度检测计量的Rz平均值作为评定被测表面粗糙度的结果。

生产中也常采用Rz的大衣据。