圆度仪超精密微动台法

圆度仪超精密微动台法
计量检测圆度仪校准超精计量仪器检测密微动台法
a)采用超精密微动台进行检定时,滤波器旋钮置全通挡,测杆长度开关杆位置。仪器校准测头与超精密微动台上的垂直工作面接触时,计量仪器校验使传感器指示值指零附。
b)按式计算示值误差△示值。
△示值=测得值一标准值×100%
外校测量标准值式中:测得值——仪器示值;标准值——由纳米分频率仪器校验 辨力传感器给出的数值。
c)用同样方法检定其他规定挡的示值误差。计量校准取各挡示值误差中绝对值定结果。

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